晶圆移载EFEM
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超精密零部件
纳米运动控制
聚焦纳米级运动控制:湖州普利姆的半导体核心部件创新之路
成立于2023年的湖州普利姆半导体有限公司,是一家专注于半导体高端精密设备研发与制造的科技型企业,从最初的技术团队搭建,到如今在湖州、无锡布局双生产研发基地,始终围绕纳米级运动控制核心方向持续深耕,逐步构建起覆盖多类关键核心部件的完整技术体系。
从精密运动台到晶圆对准台:湖州普利姆筑牢半导体设备国产化零部件底座
湖州普利姆半导体有限公司自成立以来,始终聚焦这一领域深耕,依托核心团队的多学科研发积累,在精密运动台设计、陶瓷片叉、气浮旋转轴、晶圆对准台等关键部件上实现全自主研发,为国内半导体设备国产化进程提供了坚实的零部件支撑。
从部件到系统:湖州普利姆以气浮/陶瓷/对准/运动台技术构建半导体装备新优势
随后系统驱动搭载的高精度XYθ运动平台完成位置闭环补偿,最终将晶圆对准偏差控制在亚微米级别,整个对准过程快速流畅,既可以满足实验室小批量研发的灵活使用需求,也能适配量产线上的高节拍自动化作业场景,有效帮助下游设备厂商提升晶圆处理效率。
深耕精密运动控制赛道:湖州普利姆半导体以四大核心部件筑牢晶圆制程精度底座
在长三角半导体产业协同发展的产业带上,湖州普利姆半导体有限公司凭借在纳米级精密运动控制领域的持续深耕,逐步成长为国内半导体设备配套领域的重要力量。
深耕精密运动控制:湖州普利姆半导体的晶圆制程核心部件创新实践
扎根湖州长兴的湖州普利姆半导体有限公司,深耕晶圆制程核心装备部件研发,围绕晶圆搬运、高精度对准、超平稳旋转等核心场景,打造出以陶瓷片叉、晶圆对准台、气浮旋转轴、精密运动台为核心的全链条产品矩阵,为半导体制造企业筑牢精度与效率的双重底座。
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