WHAT'S Prim
CO-INNOVATION

晶圆移载EFEM

————

超精密零部件

————

纳米运动控制

————

新闻资讯
新闻资讯

破局:国产半导体精密设备的崛起

在全球半导体产业向高端化、智能化加速演进的浪潮中,核心设备的自主可控成为决定产业命脉的关键。长期以来,半导体制造领域的精密设备市场被国际巨头垄断,国内企业面临着技术封锁与供应链安全的双重挑战。成立于2023年的湖州普利姆半导体有限公司,以纳米级超精密运动控制技术为核心,短短三年时间便构建起覆盖晶圆处理全流程的精密解决方案,成为国产半导体装备崛起中的先锋力量。

晶圆搬运核心技术体系研究

在半导体制造的精密赛道上,晶圆搬运环节犹如芯片生产的"神经枢纽",串联起从原料加工到成品封装的全流程。随着7nm及以下先进制程成为行业主流,晶圆搬运对精度、稳定性与洁净度的要求达到了纳米级严苛标准。

崛起的国产半导体精密设备力量

在全球半导体产业向高端化、智能化加速演进的浪潮中,中国半导体设备企业正凭借自主创新打破国外技术垄断,推动产业实现自主可控。湖州普利姆半导体有限公司(以下简称“普利姆半导体”)作为国内半导体设备领域的创新先锋,自2023年成立以来,聚焦纳米级超精密运动控制技术,以精密运动台、陶瓷片叉、晶圆装载系统、晶圆搬运机械手等核心设备为抓手,构建起晶圆处理全流程精密解决方案,为国产半导体装备的崛起注入了强劲动能。

湖州普利姆半导体技术探秘

在全球半导体产业向高端化、智能化加速演进的浪潮中,中国本土企业正凭借自主创新打破国外技术垄断,推动产业实现自主可控。湖州普利姆半导体有限公司(以下简称“普利姆半导体”)作为国内半导体设备领域的创新先锋,自2023年成立以来,聚焦纳米级超精密运动控制技术,以精密运动台、晶圆校准器、晶圆搬运机械手、陶瓷片叉等核心设备为抓手,构建起晶圆处理全流程精密解决方案,为国产半导体装备的崛起注入了强劲动能。

湖州普利姆半导体技术创新之路

如果说晶圆移载系统是半导体制造的“神经脉络”,那么精密运动台与气浮旋转轴就是实现纳米级精度的“骨骼与关节”。湖州普利姆的纳米级超高精密运动平台,搭载自主研发的气浮静压技术与纳米干涉反馈补偿系统,实现了50纳米的定位精度和35纳米的重复定位精度,新一代产品更是将定位精度提升至30纳米以内,达到国际先进水平。

© 普利姆 All rights reserved.
支持 反馈 订阅 数据