产品特性:
1、采用高精密气浮导轨和弧线电机驱动
2、5轴纳米精度机台 B C轴径向跳动25nm
3、自研的多轴运动控制算法，实现高定位精度和重复精度
4、高分辨率光栅尺信号反馈
5、多种规格型号可选，支持按需定制
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纳米压印精密运动平台
Load Port晶圆装载系统
晶圆夹持手指（末端执行器）
单轴精密位移台
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