产品特性:
1、采用全油静压导轨,具备高阻尼特性、高刚性以及高负载特性
2、超低摩擦系数,特别适合快速,振荡运动
3、持续循环的润滑油散热,保证导轨超高的热稳定性和高精度性能
4、自研流量补偿控制、形变误差控制等算法,保证超高的运动定位精度
5、全油静压导轨和高阻尼油隙,使其具有超平滑的运动特性
6、多种规格型号可选,支持按需定制
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纳米运动控制
6/8寸 卡塞式 6Port EFEM移载
8寸SMIF EFEM晶圆移载
EFEM晶圆移载系统
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