产品特性：
采用高精密气浮导轨和弧线电机驱动
5轴纳米精度机台 B C轴径向跳动25nm
自研的多轴运动控制算法，实现高定位精度和重复精度
高分辨率光栅尺信号反馈
多种规格型号可选，支持按需定制
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真空吸盘
C轴旋转运动
超精密气浮三轴运动平台
8寸SMIF EFEM晶圆移载
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