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2025
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晶圆制造的“微米级芭蕾”:解码湖州普利姆半导体的精密装备密码
在半导体制造的“纳米剧场”里,每一片晶圆的命运都被精准到微米级的动作改写。从光刻曝光到刻蚀成型,从薄膜沉积到封装测试,晶圆需要在真空腔室、工艺平台与传输通道间完成上百次“转体”与“定位”,任何一次微小的偏移,都可能导致芯片失效。在这场看不见的“微米级芭蕾”中,晶圆校准器是绝对的主角,而隐藏在其背后的气浮旋转轴、晶圆搬运机械手与陶瓷片叉,则构成了支撑这场精密演出的“隐形骨架”。在中国半导体设备自主化的浪潮中,湖州普利姆半导体有限公司正以技术创新为笔,在这一领域书写着国产高端装备的新篇章。