产品特性:
1、采用大负载，高精度封闭式气浮轴承
2、非接触力知电机驱动高动态响应
3、内置高分辨率光栅尺传感器信号反馈
4、25纳米端跳 / 径跳精度高、重复精度高
5、全空气载气浮坏形导轨，具有超平滑的速度轨迹
6、多种规格型号可选，支持按需定制
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超精密气浮三轴运动平台
Load Port晶圆装载系统
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精密气浮旋转台
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