产品特性：
采用高精密气浮导轨和直线电机驱动
自研的多轴运动控制算法，50nm重复定位精度
龙门式双驱结构设计，承载能力强
高分辨率光栅尺信号反馈，实现纳米级定位精度
多种规格型号可选，支持按需定制
扫一扫 在手机上阅读
精密气浮旋转台
晶圆夹持手指（末端执行器）
B轴传感器
精密光学检测运动平台
长按屏幕识别二维码
打开手机扫描二维码
友情链接:
