产品特性:
1、适用于6/8寸晶國的搬运传输
2、自主化生产，满足用户定制化需求
3、设计符合SEMI标准，具备良好的通用性和兼容性
4、多种规格型号可选，支持按需定制
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单轴精密位移台
晶圆搬运机器人
C轴旋转运动
晶圆夹持手指（末端执行器）
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