产品特性:
1、适用于12寸品圆的搬运传输自主化生产
2、满足用户定制化需求设计符合SEMI标准
3、可兼容多种工况要求
4、高效净化及静电消除等环境控制,确保品圆传输不受污染
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单轴精密位移台
6/8寸 卡塞式 6Port EFEM移载
纳米压印精密运动平台
C轴旋转运动
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