产品特性：
采用高精密气浮导轨320mm大中空旋转运动
纳米级平面度和直线度
自研的多轴运动控制算法，实现高定位精度和重复精度
叠加式双驱结构设计，承载能力强
高分辨率光栅尺信号反馈，实现50nm纳米级定位精度
多种规格型号可选，支持按需定制
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B轴传感器
8寸SMIF EFEM晶圆移载
精密气浮旋转台
Aligner晶圆校准器
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