新闻

最新消息
新闻
产品、活动信息等都会得到通知。

从机械手到气浮轴:湖州普利姆半导体构建半导体精密设备核心能力

在湖州长兴与无锡布局双研发生产基地,依托近万平米的专业生产测试空间,围绕精密运动控制核心技术持续深耕,逐步构建起覆盖晶圆搬运机械手、陶瓷片叉、气浮旋转轴、精密运动台的完整产品矩阵,为国内半导体装备产业链的自主可控提供了扎实的底层支撑。

纳米精度筑底:湖州普利姆半导体的四大核心部件国产化突破之路

在半导体制造产业向高精度、高国产化方向加速迈进的当下,位于浙江省湖州市长兴县泗安镇西湖科创园的湖州普利姆半导体有限公司,正凭借在精密运动控制与晶圆传输领域的技术积累,成为国内半导体设备配套赛道上的新锐力量。

聚焦纳米级运动控制:湖州普利姆的半导体核心部件创新之路

成立于2023年的湖州普利姆半导体有限公司,是一家专注于半导体高端精密设备研发与制造的科技型企业,从最初的技术团队搭建,到如今在湖州、无锡布局双生产研发基地,始终围绕纳米级运动控制核心方向持续深耕,逐步构建起覆盖多类关键核心部件的完整技术体系。

从精密运动台到晶圆对准台:湖州普利姆筑牢半导体设备国产化零部件底座

湖州普利姆半导体有限公司自成立以来,始终聚焦这一领域深耕,依托核心团队的多学科研发积累,在精密运动台设计、陶瓷片叉、气浮旋转轴、晶圆对准台等关键部件上实现全自主研发,为国内半导体设备国产化进程提供了坚实的零部件支撑。

从部件到系统:湖州普利姆以气浮/陶瓷/对准/运动台技术构建半导体装备新优势

随后系统驱动搭载的高精度XYθ运动平台完成位置闭环补偿,最终将晶圆对准偏差控制在亚微米级别,整个对准过程快速流畅,既可以满足实验室小批量研发的灵活使用需求,也能适配量产线上的高节拍自动化作业场景,有效帮助下游设备厂商提升晶圆处理效率。

© 普利姆 All rights reserved.
支持 反馈 订阅 数据